Die Vorteile von TFT-LCD-Displays Teil eins

Die TFT-Technologie wurde in den 1990er Jahren entwickelt. Es übernimmt neue Materialien und neue Prozesse für die Herstellungstechnologie für vollintegrierte Halbleiterschaltkreise im großen Maßstab. Es wird für Flachbildschirme mit Flüssigkristall (LC), anorganischer und organischer Dünnfilm-Elektrolumineszenz (EL und OEL) verwendet. Base. TFT ist ein nicht einzelner Wafer wie ein Glas- oder Kunststoffsubstrat (natürlich kann es auch auf einem Wafer sein) durch Sputtern und chemische Abscheidungsprozesse, um verschiedene Filme zu bilden, die für die Herstellung von Schaltkreisen und großflächigen integrierten Halbleiterschaltkreisen (LSIC ) werden durch Verarbeitung der Folien hergestellt. . Die Verwendung von Substraten, die keine Einkristalle sind, kann die Kosten stark reduzieren und ist eine Erweiterung traditioneller großformatiger integrierter Schaltungen in großflächige, multifunktionale und kostengünstige Richtungen. Es ist technisch schwieriger, TFTs herzustellen, die das Schaltverhalten von Pixeln (LC oder OLED) auf großflächigen Glas- oder Kunststoffsubstraten steuern, als großflächige ICs auf Siliziumwafern herzustellen. Die Anforderungen an die Produktionsumgebung (Reinigungsgrad beträgt 100), die Anforderungen an die Reinheit der Rohstoffe (die Reinheit des elektronischen Spezialgases beträgt 99,999985%) und die Anforderungen an Produktionsanlagen und Produktionstechnologie gehen über die großtechnische Integration von Halbleitern hinaus . Es ist die Spitze der modernen Großserienfertigung. Technologie. Seine Hauptmerkmale sind:

(1) Großflächig: Die erste Generation von großflächigen Glassubstraten (300 mm × 400 mm) TFT-LCD Produktionslinie wurde in den frühen 1990er Jahren in Betrieb genommen. In der ersten Hälfte des Jahres 2000 wurde der Bereich von ​​das Glassubstrat wurde auf 680 mm × 880 mm erweitert), und die Größe des Glassubstrats betrug 950 mm × 1200 mm. Auch das Glassubstrat wird in Betrieb genommen. Grundsätzlich gibt es keine Gebietsbegrenzung.

(2) Hohe Integration: Der 1,3-Zoll-TFT-Chip, der für die Flüssigkristallprojektion verwendet wird, hat eine XGA-Auflösung mit Millionen von Pixeln. Das 16,1-Zoll-TFT-Array mit einer Auflösung von SXGA (1280×1024), die Schichtdicke aus amorphem Silizium beträgt nur 50 nm, und die TABONGLASS- und SYSTEMONGLASS-Technologien, der Integrationsgrad ihres ICs, die Anforderungen an die Ausrüstungs- und Versorgungstechnologie und die technischen Schwierigkeiten übersteigen die traditionellen. LSI.

(3) Leistungsstarke Funktionen: TFT wurde zuerst als Matrixadressierungsschaltung verwendet, um die Lichtventileigenschaften von Flüssigkristallen zu verbessern. Bei hochauflösenden Displays wird durch Spannungsanpassung im Bereich von 0–6 V (typischerweise 0,2 bis 4 V) eine präzise Steuerung des Objekts erreicht, was es dem LCD ermöglicht, qualitativ hochwertige und hochauflösende Displays zu erzielen. TFT-LCD ist der erste Flachbildschirm in der Geschichte der Menschheit, der CRT in der Anzeigequalität übertrifft. Und die Leute fangen an, den Treiber-IC auf dem Glassubstrat zu integrieren, und die Funktion des gesamten TFT wird leistungsfähiger, was von herkömmlichen integrierten Halbleiterschaltkreisen im großen Maßstab nicht erreicht wird.

(4) Niedrige Kosten: Glassubstrate und Kunststoffsubstrate lösen grundsätzlich das Kostenproblem von integrierten Halbleiterschaltungen im großen Maßstab und eröffnen einen breiten Anwendungsraum für die Anwendung von integrierten Halbleiterschaltungen im großen Maßstab.

(5) Flexibles Verfahren: Zusätzlich zu Sputtern, CVD (Chemical Vapor Deposition), MCVD (Molecular Chemical Vapor Deposition) und anderen traditionellen Verfahren zur Filmbildung wird auch mit der Anwendung der Laserglühtechnologie begonnen, die amorphe Filme und polykristalline Filme erzeugen kann und Einkristallfilme hergestellt werden. Es kann nicht nur einen Siliziumfilm herstellen, sondern auch andere Dünnfilme aus Halbleitern der Gruppe Ⅱ-VI und der Gruppe Ⅲ-V.

(6) Das Anwendungsfeld ist breit. Der LCD-Panel-Anzeige Die auf der TFT-Technologie basierende Technologie ist die Säulenindustrie der Informationsgesellschaft, und die Technologie kann auch auf die schnell wachsenden organischen Elektrolumineszenz-Flachbildschirme (TFT-OLED) mit Dünnschichttransistoren angewendet werden. Wachsend.