Die Vorteile des TFT-LCD-Displays Teil eins

Die TFT-Technologie wurde in den 1990er Jahren entwickelt. Es werden neue Materialien und neue Prozesse für die Herstellungstechnologie für vollintegrierte Halbleiterschaltkreise im großen Maßstab eingesetzt. Es wird für Flüssigkristall- (LC), anorganische und organische Dünnschicht-Elektrolumineszenz- (EL und OEL) Flachbildschirme verwendet. Base. TFT ist ein nicht-einzelner Wafer wie ein Glas- oder Kunststoffsubstrat (natürlich kann es sich auch auf einem Wafer befinden), der durch Sputtern und chemische Abscheidungsprozesse verschiedene Filme bildet, die für die Herstellung von Schaltkreisen und großformatigen integrierten Halbleiterschaltkreisen (LSIC) erforderlich sind ) werden durch Verarbeitung der Filme hergestellt. . Die Verwendung von Nicht-Einkristall-Substraten kann die Kosten erheblich senken und stellt eine Erweiterung herkömmlicher großformatiger integrierter Schaltkreise hin zu großflächigen, multifunktionalen und kostengünstigen Richtungen dar. Die Herstellung von TFTs, die das Schaltverhalten von Pixeln (LC oder OLED) steuern, auf großflächigen Glas- oder Kunststoffsubstraten ist technisch schwieriger als die Herstellung großformatiger ICs auf Siliziumwafern. Die Anforderungen an die Produktionsumgebung (Reinigungsgrad beträgt 100), die Anforderungen an die Reinheit der Rohstoffe (die Reinheit des elektronischen Spezialgases beträgt 99,999985 %) und die Anforderungen an Produktionsausrüstung und Produktionstechnologie übersteigen die groß angelegte Integration von Halbleitern . Es ist die Spitze der modernen Großserienfertigung. Technologie. Seine Hauptmerkmale sind:

(1) Große Fläche: Die erste Generation großflächiger Glassubstrate (300 mm × 400 mm) TFT-LCD Die Produktionslinie wurde Anfang der 1990er Jahre in Betrieb genommen. Bis zum ersten Halbjahr 2000 wurde die Fläche von ​​Das Glassubstrat war auf 680 mm × 880 mm vergrößert worden und die Größe des Glassubstrats betrug 950 mm × 1200 mm. Auch das Glassubstrat wird in Betrieb genommen. Grundsätzlich gibt es keine Flächenbeschränkung.

(2) Hohe Integration: Der für die Flüssigkristallprojektion verwendete 1,3-Zoll-TFT-Chip hat eine XGA-Auflösung mit Millionen von Pixeln. Das 16,1-Zoll-TFT-Array mit einer Auflösung von SXGA (1280 × 1024), die Filmdicke von amorphem Silizium beträgt nur 50 nm und die TABONGLASS- und SYSTEMONGLASS-Technologien, der Integrationsgrad seines IC, die Anforderungen an Ausrüstung und Versorgungstechnologie usw Die technischen Schwierigkeiten übertreffen die herkömmlichen. LSI.

(3) Leistungsstarke Funktionen: TFT wurde zunächst als Matrixadressierungsschaltung verwendet, um die Lichtventileigenschaften von Flüssigkristallen zu verbessern. Bei hochauflösenden Displays wird durch die Spannungsanpassung im Bereich von 0–6 V (typischerweise 0,2 bis 4 V) eine präzise Steuerung des Objekts erreicht, wodurch das LCD hochwertige und hochauflösende Displays erzielen kann. TFT-LCD ist der erste Flachbildschirm in der Geschichte der Menschheit, dessen Anzeigequalität die von CRT übertrifft. Und die Leute beginnen, den Treiber-IC auf dem Glassubstrat zu integrieren, und die Funktion des gesamten TFT wird leistungsstärker sein, was bei herkömmlichen großen integrierten Halbleiterschaltkreisen nicht zu erreichen ist.

(4) Niedrige Kosten: Glassubstrate und Kunststoffsubstrate lösen grundsätzlich das Kostenproblem großformatiger integrierter Halbleiterschaltkreise und eröffnen einen breiten Anwendungsraum für die Anwendung großformatiger integrierter Halbleiterschaltkreise.

(5) Flexibler Prozess: Neben Sputtern, CVD (Chemical Vapour Deposition), MCVD (Molecular Chemical Vapour Deposition) und anderen traditionellen Verfahren zur Filmbildung wird auch die Laser-Annealing-Technologie eingesetzt, mit der amorphe Filme und polykristalline Filme erzeugt werden können , und Einkristallfolien können hergestellt werden. Es kann nicht nur Siliziumfilme herstellen, sondern auch andere Halbleiterdünnfilme der Ⅱ-VI-Gruppe und Ⅲ-V-Gruppe.

(6) Das Anwendungsgebiet ist breit. Der LCD-Panel-Display Die auf der TFT-Technologie basierende Technologie ist die tragende Industrie der Informationsgesellschaft, und die Technologie kann auch auf die schnell wachsenden Flachbildschirme mit organischer Elektrolumineszenz mit Dünnschichttransistoren (TFT-OLED) angewendet werden. Anbau.