Herstellungsverfahren für TFT-LCD-Glassubstrate, Teil zwei

Das Folgende ist nur die Beschreibung der oben genannten drei Prozesstechnologien wie folgt:

(1) Float-Methode:

Es ist derzeit die bekannteste Technologie zur Herstellung von Flachglas. Bei dieser Methode wird die geschmolzene Glaspaste im Ofen zum flüssigen Zinnbett transportiert. Aufgrund seiner niedrigen Viskosität kann die Dicke des Glases über die Prallplatte oder den Zuganker gesteuert werden. Wenn die Glaspaste zunimmt, verfestigt sich die Glaspaste allmählich zu Flachglas, und dann wird die verfestigte Glasplatte durch das Führungsrad herausgeführt und dann durch Nachbearbeitungsverfahren wie Glühen und Schneiden geformt.

Bei der Herstellung von ultradünnem Flachglas im Floatverfahren ist es notwendig, die niedrige Glaspastenzufuhrgeschwindigkeit zu kontrollieren. Zunächst sollte das in das Zinnbett eintretende Glasband (Ribbon) auf etwa 700 °C abgekühlt werden. Zu diesem Zeitpunkt beträgt die Viskosität des Glasbandes etwa 108 Poise (Poise; 1 Poise = 1 g/cm·s). Ziehen Sie dann mit der Kantenrolle die auf dem flüssigen Zinn schwimmende Glaspaste ab und dehnen Sie sie anschließend Beim Herausziehen wird das Glasband auf 850℃ erhitzt und die äußere Kraft wird mit der Förderrolle vorbeigezogen.

Bei der Float-Prozesstechnologie wird die horizontale Führungsmethode verwendet, sodass die verlängerte horizontale Produktionslinie einfacher zur Erfüllung der Glühanforderungen genutzt werden kann. Der Hauptgrund dafür, dass die Float-Prozesstechnologie bei der Herstellung von ultradünnem Flachglas mit einer Dicke von weniger als 2 mm nicht weit verbreitet ist, liegt darin, dass sie nicht den erforderlichen wirtschaftlichen Maßstab erreichen kann. Beispielsweise kann die tägliche Produktion der Float-Technologie fast den monatlichen Verbrauch des aktuellen taiwanesischen Marktes decken; Wird die Float-Technologie zur Herstellung von ultradünnem Flachglas eingesetzt, erfolgt die Herstellung in der Regel in einem diskontinuierlichen Wannenofen (D a yTank). Daher ist es sehr wichtig, das Design des Schlitzofens zu optimieren.

(2) Fließloch-Down-Drawing-Methode: Soweit das spezielle ultradünne Flachglas, das für Flachbildschirme erforderlich ist TFT-Display Besorgniserregend ist, dass viele Hersteller für die Produktion das Flow-Hole-Down-Drawing-Verfahren verwenden. Bei dieser Methode wird Platin mit einer niedrigviskosen, homogenen Glaspaste eingebracht. In die Nut der Schlitzbuchse aus einer Legierung wird die Dicke des Glases durch die Schwerkraft und die Herunterziehkraft sowie die Größe der Formöffnung gesteuert. Die Temperatur und die Größe der Öffnung bestimmen gemeinsam die Glasausbeute und das Durchflussloch. Die Größe der Öffnung und die Abziehgeschwindigkeit bestimmen gemeinsam die Dicke des Glases, und die Temperaturverteilung bestimmt die Verformung des Glases.

Durch das Herunterziehen der Öffnung können 5 bis 20 Tonnen ultradünnes Flachglas mit einer Dicke von 0,0 bis 3 bis 1,1 mm pro Tag hergestellt werden. Da Platinmetall hohen mechanischen Belastungen nicht standhält, werden in der Regel Formen aus Platinlegierungen verwendet. Allerdings verformt sich die Öffnung häufig, wenn sie äußeren Kräften ausgesetzt wird, was zu einer ungleichmäßigen Dicke und Oberflächenebenheit führt, die nicht den Spezifikationen entsprechen. Seine Nachteile.

Das Fließloch-Down-Draw-Verfahren muss in vertikaler Richtung geglüht werden. Wenn es in die horizontale Richtung gedreht wird, kann es zu einem stärkeren Kontakt zwischen der Glasoberfläche und der Walze sowie zu einer durch den horizontalen Transport verursachten Verformung kommen, was zu einem starken Anstieg der Fehlerrate führt. Solche Bedenken führen dazu, dass die Konstruktion des Ofens eine Konstruktion mit hohen Decken annehmen muss und gleichzeitig die für das Glühen erforderliche Höhe genau berücksichtigt werden muss, was die Komplexität des Projekts erheblich erhöht und sich auch in den Baukosten niederschlägt Anlage.

(3) Überlaufschmelzverfahren:

Eine lange Fusionspumpe (Fusion Pump) wird verwendet, um die geschmolzene Glaspaste in die Mitte der Fusionspumpe zu transportieren und dann mithilfe der Überlaufmethode zwei überlaufende Glaspasten in die Mitte der Pumpe zu transportieren. Der untere Teil ist zu ultradünnem Flachglas zusammengefasst.

Der Einsatz dieser Formtechnologie erfordert außerdem eine schwere Form, so dass die Form der geschmolzenen Pumpe auch mit den Problemen konfrontiert ist, sich aufgrund mechanischer Beanspruchung zu verformen, das Niveau der geschmolzenen Pumpe aufrechtzuerhalten und die geschmolzene Glaspaste stabil in die geschmolzene Pumpe zu treiben. Denn die Dicke und die Qualität der Glasoberfläche des im Überlaufschmelzverfahren hergestellten Superflachglases werden durch die Menge der der Schmelzpumpe zugeführten Glaspaste, deren Stabilität, Ebenheit, die Oberflächeneigenschaften der Pumpe und die Qualität bestimmt des Glases.

Mit der Fusion-Overflow-Technologie können ultradünne Glassubstrate mit doppelten Originalglasoberflächen hergestellt werden. Im Vergleich zur Float-Methode (es kann nur eine einzige Original-Glasoberfläche hergestellt werden) und der Flow-Hole-Down-Draw-Methode (die keine Original-Glasoberflächen erzeugen kann) können Nachbearbeitungsprozesse wie Schleifen oder Polieren vermieden werden. Gleichzeitig muss bei der Herstellung von Flachbildschirmen nicht auf die unterschiedlichen Eigenschaften der Glasoberfläche geachtet werden, die durch die ursprünglichen und unterschiedlichen Glasoberflächen, die mit dem flüssigen Zinn in Kontakt kommen, oder durch das Schleifen entstehen Medien. Und so weiter ist es zum Mainstream der ultradünnen Flachglasformung geworden.