Herstellungsverfahren für TFT-LCD-Glassubstrate, Teil zwei

Das Folgende ist nur die Beschreibung der oben genannten drei Prozesstechnologien wie folgt:

(1) Float-Methode:

Es ist derzeit die bekannteste Technologie zur Herstellung von Flachglas. Dieses Verfahren transportiert die geschmolzene Glaspaste im Ofen zum flüssigen Zinnbett. Aufgrund seiner niedrigen Viskosität kann die Dicke des Glases durch die Prallplatte oder den Zuganker gesteuert werden. Wenn die Glaspaste zunimmt, verfestigt sich die Glaspaste allmählich zu Flachglas, und dann wird die verfestigte Glasplatte durch das Führungsrad herausgeführt und dann durch Nachbearbeitungsverfahren wie Glühen und Schneiden geformt.

Bei der Anwendung des Floatverfahrens zur Herstellung von ultradünnem Flachglas ist es notwendig, die geringe Zufuhrrate der Glaspaste zu kontrollieren. Zunächst sollte das in das Zinnbett eintretende Glasband (R ibbon) auf etwa 700°C abgekühlt werden. Zu diesem Zeitpunkt beträgt die Viskosität des Glasbandes etwa 108 Poise (Poise; 1 Poise u003d 1 g/cm·sec), und dann wird die Glaspaste, die auf der flüssigen Dose schwimmt, mit der Randwalze abgezogen und anschließend gedehnt heraus, das Glasband wird auf 850 ° C erhitzt und die äußere Kraft wird mit der vorbeigezogenen Förderrolle aufgebracht.

Die Float-Prozesstechnologie übernimmt die horizontale Bleimethode, sodass es einfacher ist, die längliche horizontale Produktionslinie zu verwenden, um die Glühanforderungen zu erfüllen. Der Hauptgrund, warum die Float-Prozesstechnologie bei der Herstellung von ultradünnem Flachglas mit einer Dicke von weniger als 2 mm nicht weit verbreitet ist, liegt darin, dass sie nicht die erforderliche wirtschaftliche Größenordnung erreichen kann. Beispielsweise kann die Tagesleistung der Float-Technologie fast den monatlichen Verbrauch des aktuellen taiwanesischen Marktes decken; Wird die Float-Technologie zur Herstellung von ultradünnem Flachglas eingesetzt, erfolgt die Herstellung in der Regel in einem diskontinuierlichen Wannenofen (D a yTank). Daher ist es sehr wichtig, das Design des Schlitzofens zu optimieren.

(2) Fließloch-Abziehverfahren: So weit wie das spezielle ultradünne Flachglas, das für Flachbildschirme erforderlich ist TFT-Display Displays verwenden viele Hersteller das Flow-Hole-Downdrawing-Verfahren für die Produktion. Dieses Verfahren verwendet niedrigviskose homogene Glaspaste zum Einbringen von Platin in die Schlitzbuchsennut aus einer Legierung, wobei die Dicke des Glases durch die Schwerkraft und die Niederzugskraft und die Größe der Formöffnung gesteuert wird. Die Temperatur und die Größe der Öffnung bestimmen zusammen den Glasausstoß, und das Fließloch Die Größe der Öffnung und die Abzugsgeschwindigkeit bestimmen zusammen die Dicke des Glases, und die Temperaturverteilung bestimmt den Verzug des Glases.

Das Öffnungstiefziehverfahren kann 5 bis 20 Tonnen ultradünnes Flachglas mit einer Dicke von 0,0 bis 3 bis 1,1 mm pro Tag produzieren. Da Platinmetall hohen mechanischen Belastungen nicht standhalten kann, werden in der Regel Formen aus Platinlegierungen verwendet. Die Öffnung wird jedoch häufig verformt, wenn sie äußeren Kräften ausgesetzt wird, was zu einer ungleichmäßigen Dicke und Oberflächenebenheit führt, die die Spezifikationen nicht erfüllen können. Seine Nachteile.

Das Fließloch-Down-Draw-Verfahren muss in vertikaler Richtung getempert werden. Wenn es in die horizontale Richtung gedreht wird, kann es den Kontakt zwischen der Glasoberfläche und der Walze und die durch den horizontalen Transport verursachte Verwerfung erhöhen, was zu einem starken Anstieg der Fehlerrate führt. Solche Bedenken führen dazu, dass die Konstruktion des Ofens eine Konstruktion mit hohen Decken annehmen muss, und gleichzeitig muss die zum Glühen erforderliche Höhe genau berücksichtigt werden, was die Schwierigkeit des Projekts stark erhöht und sich auch in den Baukosten widerspiegelt Anlage.

(3) Überlaufschmelzverfahren:

Eine länglich geformte Schmelzpumpe (Fusion Pump) wird verwendet, um die geschmolzene Glaspaste in die Mitte der Schmelzpumpe zu transportieren, und verwendet dann die Überlaufmethode, um zwei überlaufende Glaspasten in die Mitte der Pumpe zu übertragen. Der untere Teil ist mit ultradünnem Flachglas kombiniert.

Die Verwendung dieser Formtechnologie erfordert auch eine schwere Form, so dass die Schmelzpumpenform auch mit den Problemen der Verformung aufgrund mechanischer Belastung, der Aufrechterhaltung des Niveaus der Schmelzpumpe und der Frage konfrontiert ist, wie die geschmolzene Glaspaste stabil in die Schmelzpumpe getrieben werden kann. Denn die Dicke und die Qualität der Glasoberfläche des im Überlaufschmelzverfahren hergestellten Superflachglases werden durch die Menge der der Schmelzpumpe zugeführten Glaspaste, deren Stabilität, Ebenheit, die Oberflächenbeschaffenheit der Pumpe und die Qualität bestimmt des Glases.

Die Fusion-Overflow-Technologie kann ultradünne Glassubstrate mit doppelten ursprünglichen Glasoberflächen herstellen. Verglichen mit dem Floatverfahren (es kann nur eine einzige Originalglasoberfläche hergestellt werden) und dem Fließloch-Down-Draw-Verfahren (das keine Originalglasoberflächen erzeugen kann) können Nachbearbeitungsprozesse wie Schleifen oder Polieren vermieden werden. Gleichzeitig muss im Herstellungsprozess des Flachbildschirms nicht auf die Unterschiede in den Eigenschaften der Glasoberfläche aufgrund der ursprünglichen und unterschiedlichen Glasoberflächen geachtet werdenin Kontakt mit dem flüssigen Zinn oder den Schleifkörpern. Und so weiter, ist zum Mainstream der ultradünnen Flachglasformung geworden.